白玉柯
【姓名】 白玉柯
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 研磨片,晶片均匀性,切片,表面损伤层,化学腐蚀方法,抛光片,损伤层,磨片,晶片,砷化镓,化学腐蚀,砷化镓晶片,曲线检测,Ｘ射线,表面损伤,化学腐蚀速率,均匀性,双晶,层分析,回摆,GaAs,回摆曲线,...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]郑红军,卜俊鹏,尹玉华,白玉柯.GaAs研磨片化学腐蚀均匀性的分析[J]功能材料与器件学报.2000,(04)
[2]郑红军,卜俊鹏,曹福年,白玉柯,吴让元,惠峰,何宏家.砷化镓晶片表面损伤层分析[J]稀有金属.1999,(04)
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