许晓慧
【姓名】 许晓慧
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PZT,悬臂梁,PZT薄膜,电容检测,数据存储,湿法刻蚀,雾化法,静电雾化,带电液滴,薄膜沉积,刻蚀液,信息存储,雾滴直径,数据读取,高密度,刻蚀速率,白色残留物,微图形,等效电容,压电层,空间电场,...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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中国期刊全文数据库    共找到13篇
[1]刘勇;许晓慧;李保庆;张晋弘;褚家如;.MEMS微变形镜单元间耦合的优化控制研究[J]中国科学技术大学学报.2010,(04)
[2]吴有金;吴亚雷;许晓慧;褚家如;.PZT溶胶液静电雾化雾场模拟[J]中国科学技术大学学报.2006,(07)
[3]许晓慧;赵钢;文莉;吴亚雷;褚家如;.一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的理论和实验研究(英文)[J]传感技术学报.2006,(05)
[4]金浙萍;许晓慧;吴建华;吴亚雷;褚家如;.PZT铁电薄膜的雾化湿法刻蚀技术研究[J]微细加工技术.2006,(04)
[5]蒋锐;胡小方;许晓慧;伍小平;.纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能[J]实验力学.2007,(06)
[6]许晓慧;冯艳;刘爽;李保庆;褚家如;.MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征[J]纳米技术与精密工程.2007,(04)
[7]刘爽;吴亚雷;许晓慧;文莉;黄文浩;褚家如;.掺锡氧化铟基底上锆钛酸铅铁电薄膜的制备与表征[J]纳米技术与精密工程.2007,(04)
[8]冯艳;许晓慧;杨景超;吴亚雷;褚家如;.PZT厚膜的气雾化湿法减薄制备技术[J]纳米技术与精密工程.2008,(01)
[9]杨景超;赵钢;邬玉亭;许晓慧;.PECVD氮化硅薄膜内应力试验研究[J]新技术新工艺.2008,(01)
[10]吴亚雷;刘爽;刘芳;许晓慧;文莉;褚家如;.基于锆钛酸铅薄膜的变形镜微致动器[J]纳米技术与精密工程.2008,(02)
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中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]许晓慧.基于PZT厚膜的MEMS微变形镜[D].中国科学技术大学.2008
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