鲁健
【姓名】 鲁健
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;电力工业;
【研究方向】 是PZT薄膜制备及性能测试技术
【发表文献关键词】 探针估计,图像模拟,Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3,表面重建,PZT厚膜,铁电薄膜,数学形态学,扫描探针显微镜,PZT铁电薄膜,Pt薄膜,微机电系统,0-3复合法,溶胶凝胶法,探针,Sol-G...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]陈超,褚家如,鲁健,杨艳.高取向PZT厚膜的0-3复合法制备[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[2]鲁健,吴建华,赵刚,王海,褚家如.溅射法制备高取向Pt薄膜的工艺研究[J]微细加工技术.2004,(01)
[3]鲁健,褚家如,秦俊.溶胶-电雾化系统雾滴速度场LDV测量的研究[J]微细加工技术.2004,(03)
[4]孙长敬,鲁健,褚家如.一种新型压电驱动微流体混合器[J]微细加工技术.2005,(02)
[5]许晓慧;鲁健;朱龙洋;褚家如;.基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究[J]光学精密工程.2005,(06)
[6]朱龙洋;鲁健;吴亚雷;许晓慧;褚家如;.基于数字调谐方法的微悬臂梁品质因数的研究[J]纳米技术与精密工程.2005,(04)
[7]陈超,褚家如,鲁健.基于溶胶-凝胶技术的PZT厚膜快速成膜研究[J]微细加工技术.2005,(01)
[8]郑可炉,褚家如,鲁健,李恒.PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究[J]压电与声光.2005,(02)
[9]李磊,鲁健,褚家如,平志明.PZT铁电薄膜介电性能的数字锁相测试技术[J]仪器仪表学报.2005,(04)
[10]陈宇航,黄文浩,鲁健,党学明.SPM图像模拟、表面重建及探针估计[J]电子显微学报.2001,(05)
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