凌宏芝
【姓名】 凌宏芝
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光技术,激光精密切割,石英玻璃薄板,光学吸收率,电子技术,MEMS,体硅溶片工艺,高浓度硼深扩散,自停止腐蚀,预淀积,再分布,测试结果,表面杂质浓度,扩散结深,光学透过率,激光切割,扩散层,加工精度...
【工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所
【曾工作单位】 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【所在地域】 四川绵阳
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[1]袁明权;凌宏芝;彭勃;.石英玻璃薄板激光精密切割技术[J]激光技术.2006,(04)
[2]唐海林;凌宏芝;.高浓度硼深扩散自停止腐蚀层硅片工艺研究[J]电子元件与材料.2007,(09)
[3]李福军;袁明权;凌宏芝;.激光落料在陶瓷基片加工中的应用研究[J]激光杂志.2008,(03)
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