杨兴平
【姓名】 杨兴平
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 电气自动控制技术研究与设计
【发表文献关键词】 晶片传输,光学预对准,预对准,切边,探测,机械预对准,投影光刻,晶片,承片台,系统中,光学式,预定位,光电检测,校正气,片锁,机械式,吹气,停止旋转,偏振光分束器,旋转电机,
【工作单位】 中国电子科技集团第四十五研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十五研究所;
【所在地域】 北京东燕郊
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[1]杨兴平.晶片传输系统中切边探测和预对准技术[J]电子工业专用设备.2003,(01)
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