李仁
【姓名】 李仁
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 半导体IC工艺装备和器件设备的研究开发
【发表文献关键词】 兆声清洗,RCA清洗,RCA清洗法、高纯水,单晶片清洗,IMEC清洗法,稀释化学法,气穴效应,干法清洗,范德瓦尔斯引力,湿法清洗,压电陶瓷晶体,晶圆表面,颗粒,清洗法,清洗技术,清洗液,化学品,晶片,...
【工作单位】 中国电子科技集团第四十五研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十五研究所;
【所在地域】 北京东燕郊
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[1]李仁.半导体IC清洗技术[J]半导体技术.2003,(09)
[2]李仁.兆声清洗技术分析及应用[J]电子工业专用设备.2004,(01)
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