蔡君质
【姓名】 蔡君质
【职称】
【研究领域】 无机化工;无线电电子学;有机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微孔玻璃,微电子生产,洁净技术,剩余物,超高纯,不挥发,洁净室,监测,电离器,渗透量,孔径,不挥发物质,吸收材料,晶片,电现象,臭氧水,成管,渗透压力,电放,管套,筛分系数,颗粒,表面改进,食物消毒,...
【工作单位】 中国电子工程设计院
【曾工作单位】 中国电子工程设计院;
【所在地域】
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[1]蔡君质.微孔玻璃（MPG）简介[J]机械工程材料.1994,(03)
[2]蔡君质.微电子生产中的关键之一─—环境洁净技术发展动态[J]半导体情报.1994,(06)
[3]蔡君质.对超高纯水中不挥发剩余物质的监测[J]电子工业专用设备.1995,(02)
[4]蔡君质.国外抗磨损材料简况[J]机械工程材料.1988,(04)
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