马铁英
【姓名】 马铁英
【职称】 教授;
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】 光电薄膜材料的制备和性能研究
【发表文献关键词】 离子注入,电阻温度系数,电子束蒸发,Si薄膜,a-Si,硅薄膜,退火温度,改性研究,非晶,Co离子注入,Co离子,电阻率,薄膜电阻,晶界,掺杂浓度,非制冷,注入剂量,势垒高度,硅基薄膜,薄膜样品,
【工作单位】 云南大学
【曾工作单位】 云南大学;
【所在地域】 云南昆明
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[1]马铁英,刘焕林,陈刚,杨宇.电子束蒸发a-Si∶Co薄膜的离子注入改性研究[J]功能材料.2004,(05)
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