S.F.Y.Li
【姓名】 S.F.Y.Li
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 STM,腐蚀,Si(111)表面,微结构,湿法腐蚀,硅表面,腐蚀液,表面腐蚀机理,NH_4,向异性,溶液体系,半导体工艺,台阶,STM技术,表面粗糙度,STM图像,萨本栋,粗糙度,平整度,洁净度,
【工作单位】 新加坡国立大学
【曾工作单位】 新加坡国立大学;
【所在地域】 新加坡
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[1]李静,吴孙桃,叶建辉,S.F.Y.Li.湿法腐蚀后硅表面形态微结构的研究[J]微纳电子技术.2003,(03)
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