潘广问
【姓名】 潘广问
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 静电击穿,MOS集成电路,防静电,防静电措施,静电,生产过程,电击穿机理,集成电路,场效应管,集成电路生产,静电电压,氧化扩散,静电危害,栅极,氧化膜,人体,芯片,清洗箱,清洗剂,人体静电,
【工作单位】 襄樊大学
【曾工作单位】 襄樊大学;
【所在地域】
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[1]潘广问.MOS集成电路生产过程中防静电的讨论[J]半导体杂志.1996,(03)
[2]潘广问;徐彦彬;.提高硅功率器件使用温度的探讨[J]半导体杂志.1996,(01)
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