学者知网节

【姓名】	王明亮
【职称】
【研究领域】	化学;自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】	微加工工艺研究
【发表文献关键词】	硅尖,刻蚀,顺序耦合,MEMS,微加工技术,静电力,悬臂梁,微尖,微悬臂梁,电镀,键合,静电驱动,光开关,陀螺仪,微电镀,微机电系统,AZ4620,光刻,隧道电流,各向异性腐蚀,微弱信号检测,传感器,...
【工作单位】	厦门大学
【曾工作单位】	厦门大学;
【所在地域】	福建厦门

中国期刊全文数据库 共找到6篇

[1]王艳华,王明亮,孙道恒,马海阳.硅尖的制备及在传感器技术中的应用[J]传感器技术.2003,(06)

[2]马海阳,王艳华,王明亮,孙道恒.光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析[J]光学仪器.2003,(03)

[3]孙道恒,王明亮,郑剑铭,张玉德.微机电系统(MEMS)的研究进展[J]机电技术.2003,(S1)

[4]王明亮,王艳华,郑剑铭,孙道恒.微尖的两种制作工艺[J]传感器技术.2004,(02)

[5]王明亮,郑剑铭,孙道恒.用AZ4620制作微电镀模的工艺研究(英文)[J]微纳电子技术.2004,(04)

[6]郑剑铭,王凌云,王明亮,孙道恒.微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术[J]厦门大学学报(自然科学版).2004,(02)

中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到1篇

中国重要会议全文数据库 共找到1篇

[1]孙道恒;王明亮;郑剑铭;张玉德;.微机电系统(MEMS)的研究进展[A].福建省科协第三届学术年会装备制造业专题学术年会论文集.2003-09-23

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