张正元
【姓名】 张正元
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;电信技术;
【研究方向】 射频MEMS的研究
【发表文献关键词】 微型电感,多晶硅微机械开关,导通电阻,串联电阻,集成电泳芯片,平面螺旋电感,微机械开关,牺牲层,Q值,恢复力,下拉电压,低电压,光开关,研制工艺,悬臂梁,多晶硅,MEMS,金属膜,分离通道,阴极锥尖,...
【工作单位】 重庆大学
【曾工作单位】 重庆大学;
【所在地域】 重庆中国
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[1]张正元,温志渝,徐世六,张正番,刘玉奎,李开成,黄尚廉.多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文)[J]半导体学报.2003,(08)
[2]罗元,张正元,付红桥,黄尚廉.一种静电MEMS光开关的理论与实验研究[J]微电子学.2003,(05)
[3]吴英,温志渝,张正元,蒋子平,黄尚廉.低电压集成电泳芯片的研制[J]光学精密工程.2003,(02)
[4]温志渝,温中泉,徐世六,刘玉奎,张正元,陈刚,杨国渝.真空微电子压力传感器的研制[J]光学精密工程.2004,(06)
[5]吴英,江永清,温志渝,张正元.多晶硅微型电极阵列的研制[J]半导体光电.2005,(04)
[6]温志渝,张正元,徐世六,吴英,张正璠.降低集成化平面螺旋电感寄生串联电阻的途径[J]微电子学.2001,(05)
[7]张正元,温志渝,徐世六,张正番,李开成,黄尚廉.多晶硅微机械开关(英文)[J]半导体学报.2002,(09)
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[1]张正元;温志渝;徐世六;吴英;张正番;.通讯用微型电感中的电阻对Q值的影响[A].第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集.2000-11-01
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