高扬
【姓名】 高扬
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 横向灵敏度,掩膜,掩膜版,各向异性腐蚀,加速度传感器,硅微机械,计算机辅助设,腐蚀深度,感器,凸台,质量块,悬臂梁,计算机辅助设计,中性面,腐蚀过程,硅微加速度传感器,应变电阻,腐蚀面,传感器阵列,各...
【工作单位】 重庆大学
【曾工作单位】 重庆大学;
【所在地域】
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[1]费龙，钟先信，温志渝，刘桂雄，高扬.降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法[J]光学精密工程.1995,(01)
[2]费龙，徐涛，温志渝，高扬.硅多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版的计算机辅助设计[J]仪器仪表学报.1996,(S1)
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