徐泽鸿
【姓名】 徐泽鸿
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 注入剂量,注入硅,椭圆偏振光谱,紫外-可见,单晶硅,损伤度,临界剂量,微电子学,谱峰,非晶硅,紫外光区,离子注入硅,椭偏参数,波段,中山大学,复折射率,检偏器,椭圆偏振光谱法,有效质量,椭圆偏振光谱仪,
【工作单位】 中山大学
【曾工作单位】 中山大学;
【所在地域】
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[1]江任荣,项颂光,王浩文,徐泽鸿,莫党.As~+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱[J]物理学报.1987,(08)
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