弥歉
【姓名】 弥歉
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 端部霍尔离子源,类金刚石膜,放电电流,离子源,靶基距,等离子体源,DLC膜,红外光谱,沉积速率,sp3键,离子能量,霍尔,放电电压,折射率,类金刚石薄膜,阴极电流,类金刚石,热阴极,光电工程,等离子体...
【工作单位】 西安工业学院
【曾工作单位】 西安工业学院;
【所在地域】 陕西西安
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[1]潘永强,朱昌,弥歉,方勇.端部霍尔等离子体源沉积类金刚石膜的研究[J]材料科学与工程学报.2005,(02)
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