周广元
【姓名】 周广元
【职称】
【研究领域】 核科学技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 平面工艺,硅探测器,辐射探测器,带电粒子探测器,探测器,X射线探测器,半导体探测器,扩散工艺,工艺问题,离子注入,性能提高,电性能,面垒探测器,漏电流,少子寿命,固定正电荷,反向漏电流,MOS电容器,...
【工作单位】 中国原子能科学研究院
【曾工作单位】 中国原子能科学研究院;
【所在地域】
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[1]郭昭乔,张秀凤,周广元.平面工艺制造硅辐射探测器[J]核电子学与探测技术.1988,(06)
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