陈树光
【姓名】 陈树光
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 椭圆偏振光谱,无定形硅,Si-SiO_2,椭圆偏振光谱法,光学性质,掺氢,电子束退火,消光法,溅射,椭圆偏振,检偏器,椭圆偏振法,光谱法,退火效应,单晶硅,定波,椭圆偏振光谱仪,偏振光谱,膜厚测量,紫...
【工作单位】 中山大学
【曾工作单位】 中山大学;
【所在地域】 广州
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[1]莫党,陈树光,余玉贞,黄炳忠.Si-SiO_2膜的椭圆偏振光谱[J]物理学报.1980,(05)
[2]莫党;陈树光;徐耕;.硅的色散和椭圆偏振光谱[J]中山大学学报(自然科学版).1980,(03)
[3]陈树光,叶贤京,莫党.用椭圆偏振光谱法研究溅射无定形硅的光学性质[J]物理.1981,(10)
[4]陈树光;叶贤京;莫党;.溅射非晶态硅薄膜光学特性[J]贵金属.1981,(04)
[5]陈树光,叶贤京,莫党.用椭圆偏振光谱法研究溅射无定形硅的光学性质[J]半导体学报.1982,(01)
[6]莫党,陈树光,林树汉,叶贤京,江任荣.均匀吸收介质层的椭圆偏振光谱方法及其应用[J]中山大学学报(自然科学版).1982,(01)
[7]陈树光,陶敦仁.电子束退火对无定形硅光学性质的影响[J]微细加工技术.1983,(02)
[8]江任荣,陈树光,叶贤京,莫党.TPP-1型椭圆偏振光谱仪[J]仪器仪表学报.1983,(04)
[9]陈树光,江任荣,莫党.溅射无定形硅的紫外-可见椭圆偏振光谱和光学常数[J]光学学报.1984,(02)
[10]陈树光,刘秋明,黎锡强.溅射GaAs薄膜的光学性质[J]红外研究.1984,(04)
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[1]陈树光;陈弟虎;郭扬铭;徐运海;朱小兵;.计算机软磁盘的防霉研究[A].首届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1992-10-26
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