余玉贞
【姓名】 余玉贞
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Si-SiO_2,椭圆偏振光谱,氮化硅膜,光学常数,椭偏光谱测量,射频溅射,消光法,粗糙度,复数折射率,椭偏光谱,椭偏光,界面层,ITO膜,检偏器,椭圆偏振法,金字塔模型,椭偏方程,定波,折射率,介质...
【工作单位】 中山大学
【曾工作单位】 中山大学;
【所在地域】
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[1]莫党,陈树光,余玉贞,黄炳忠.Si-SiO_2膜的椭圆偏振光谱[J]物理学报.1980,(05)
[2]余玉贞;黄炳忠;.用椭偏光法研究Si-SiO_2过渡层的特性[J]中山大学学报(自然科学版).1980,(04)
[3]余玉贞,张世宏,黄炳忠.射频溅射生长的氮化硅膜的椭偏光谱测量[J]半导体技术.1986,(01)
[4]冯洪安,余玉贞,黄炳忠.椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究 ITO膜光学常数的色散和生长规律[J]物理学报.1986,(03)
[5]黄炳忠,余玉贞,洪国光.Si-SiO_2界面的粗糙度[J]物理学报.1987,(07)
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