冯洪安
【姓名】 冯洪安
【职称】
【研究领域】 物理学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光学常数,复数折射率,椭偏光谱,ITO膜,生长规律,硅衬底,目标函数,椭偏参数,折射率,溅射,椭偏方程,检偏器,参变量,透明膜,生长速率,输出功率,波长变化,氧化层,椭偏光谱仪,显表达式,
【工作单位】 中山大学
【曾工作单位】 中山大学;
【所在地域】
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[1]冯洪安,余玉贞,黄炳忠.椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究 ITO膜光学常数的色散和生长规律[J]物理学报.1986,(03)
[2]冯洪安,黄炳忠.自动椭偏光谱仪[J]仪器仪表学报.1986,(04)
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