曲宏伟
【姓名】 曲宏伟
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;动力工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 双岛结构,削角补偿,多晶硅压力传感器,终止腐蚀,高温压力传感器,TMAH,硅杯,各向异性腐蚀,温度自补偿,灵敏度温漂补偿,硅压力传感器,四甲基氢氧化铵,削角,多晶硅高温压力传感器,零位失调,温度特性,...
【工作单位】 天津大学
【曾工作单位】 天津大学;
【所在地域】 天津
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[1]曲宏伟;李敏霞;马一太;剧成成;.CO_2单管池沸腾换热实验研究[J]热能动力工程.2012,(04)
[2]罗秦川,张生才,姚素英,张为,曲宏伟.多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术[J]传感器技术.2003,(05)
[3]赵毅强,姚素英,张生才,赵红,曲宏伟.油田测井用压力传感器的研制[J]传感技术学报.2004,(02)
[4]刘洪,姚素英,曲宏伟,张生才,张维新,毛赣如.TMAH在压力传感器制作中的应用[J]电子科技大学学报.2000,(06)
[5]曲宏伟,张为,姚素英,毛赣如,张维新,喻白莹.双岛结构多晶硅压力传感器削角补偿技术的研究[J]天津大学学报.2000,(02)
[6]刘艳艳,姚素英,张生才,张维新,毛赣如,曲宏伟.高性能高温压力传感器[J]半导体技术.2001,(05)
[7]张为,姚素英,张生才,曲宏伟,刘艳艳,张维新.多晶硅高温压力传感器的温度特性[J]西安电子科技大学学报.2002,(01)
[8]张为,姚素英,张生才,刘艳艳,曲宏伟.高温压力传感器现状与展望[J]仪表技术与传感器.2002,(04)
[9]曲宏伟,姚素英,张生才,赵毅强,张为.高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术[J]仪器仪表学报.2002,(02)
[10]张生才,赵毅强,刘艳艳,姚素英,张为,曲宏伟.半导体高温压力传感器的静电键合技术[J]传感技术学报.2002,(02)
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[1]曲宏伟.CO_2跨临界循环系统满液式蒸发器分析[D].天津大学.2012
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