刘如净
【姓名】 刘如净
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;仪器仪表工业;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金属有机化合物,铁电薄膜,锆钛酸铅,PZT薄膜,MEMS,MOD工艺,铁电材料,微执行器,PZT铁电薄膜,微传感器,PZT压电薄膜,金属有机,焦绿石相,钙钛矿相,相结构,热处理温度,热分解法,保温时间...
【工作单位】 天津大学
【曾工作单位】 天津大学;
【所在地域】 天津
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[1]张之圣,李霄云,陈金亭,刘如净.采用MOD工艺制备PZT铁电薄膜及其性能[J]天津大学学报.2000,(03)
[2]张之圣,王玉东,刘如净.采用MOD工艺制备PZT压电薄膜及其性能的研究[J]仪表技术与传感器.2000,(07)
[3]张之圣,刘如净,刘志刚.采用金属有机化合物热分解法研制锆钛酸铅薄膜[J]压电与声光.2001,(01)
[4]刘如净,张之圣,胡明.微电子机械系统(MEMS)中的铁电器件[J]仪器仪表学报.2002,(S1)
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