学者知网节

【姓名】	俞笑竹
【职称】
【研究领域】	工业通用技术及设备;物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】	SiCOH薄膜,低介电常数,Si—OH结构,介电性能,ECR放电等离子体,碳氢掺杂,薄膜结构,电子回旋共振,薄膜性能,等离子体化学气相沉积,性能研究,热稳定性,薄膜密度,等离子体沉积,高密度,薄膜材料...
【工作单位】	苏州大学
【曾工作单位】	苏州大学;
【所在地域】	苏州

中国期刊全文数据库 共找到2篇

[1]叶超;宁兆元;辛煜;王婷婷;俞笑竹;.Si—OH基团对SiCOH低k薄膜性能的影响与控制[J]物理学报.2006,(05)

[2]俞笑竹,王婷婷,叶超,宁兆元.掺CH_4的SiCOH低介电常数薄膜结构与介电性能研究[J]物理学报.2005,(11)

中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到1篇

[1]俞笑竹.甲烷掺杂SiCOH薄膜的制备和性能研究[D].苏州大学.2006

中国重要会议全文数据库 共找到2篇

[1]叶超;宁兆元;王婷婷;俞笑竹;.DMCPS电子回旋共振等离子体沉积SiCOH低介电常数薄膜研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01

[2]叶超;宁兆元;王婷婷;俞笑竹;.DMCPS电子回旋共振等离子体沉积的SiCOH低介电常数薄膜结构及物性研究[A].中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集.2004-11-01

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
0/5	2	3	2	26	338