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杨波
【姓名】
杨波
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
半导体硅材料,硅材料,新发展,发展状况,高速发展,多晶硅,抛光片,硅单晶,半导,单晶硅,平方英寸,体材料,FZ硅单晶,生产能,大直径,硅晶片,硅外延片,集成电路,体硅,硅材料工业,
【工作单位】
四川省峨眉半导体材料研究所
【曾工作单位】
四川省峨眉半导体材料研究所;
【所在地域】
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[1]徐远林,杨波.
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[J]中国金属通报.2004,(25)
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