康小录
【姓名】 康小录
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 四极质谱计,分压力测量,真空测量,分析器,碰撞散射,碰撞损失,离子源,四极场,分辨本领,损失模型,高压力,质量数,离子流,工艺气氛,真空镀膜,校准法,非线性区,线性条件,普遍公式,半导体加工,
【工作单位】 中国空间技术研究院
【曾工作单位】 中国空间技术研究院;
【所在地域】
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[1]康小录,胡炳森.四极质谱计测量高压力的一种方法[J]真空科学与技术.1993,(06)
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