杨武保
【姓名】 杨武保
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PHEDP法,类金刚石膜,薄膜,腐蚀,ECR微波等离子体,拉曼光谱,等离子体源离子注入,脉冲高能量密度等离子体,等离子体源,离子注入,内表面处理,管型,类金刚石,类金刚石薄膜,扫描电镜,氮化钛,内表面...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/4 3 4 2 62 816
中国期刊全文数据库    共找到4篇
[1]杨武保,范松华,刘赤子,张谷令,王久丽,杨思泽.脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析[J]物理学报.2003,(01)
[2]张谷令,王久丽,杨武保,范松华,刘赤子,杨思泽.内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究[J]物理学报.2003,(09)
[3]杨思泽,张谷令,王久丽,刘斌,范松华,杨武保,刘元富.管型材料离子注入内表面改性研究进展[J]科学技术与工程.2003,(06)
[4]杨武保,王久丽,张谷令,范松华,刘赤子,杨思泽.丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究[J]物理学报.2004,(09)
更多