杨然
【姓名】 杨然
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 约瑟夫逊器件,离子束刻蚀,隧道结,离子束,束流密度,离子能量,上电极,光刻胶,离子源,势垒层,离子束技术,超高真空,屏栅极,软金属,超精细加工,等离子刻蚀,微晶玻璃,中国科学院物理研究所,离子束轰击,...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]叶维江,陈烈,张远仪,杨然.离子束刻蚀技术在约瑟夫逊器件工艺中的应用[J]低温与超导.1987,(02)
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