杨海清
【姓名】 杨海清
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光分子束外延,超高真空,多层镀,原子尺度外延生长,无油,实时监控,底板,蒸发源,掩模板,空周期,蒸镀,高真空,真空系统,镀膜,盘组,电阻加热蒸发,极限压强,金属膜,工作方式,物理研究所,四极质谱仪,...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/2 1 1 1 28 449
中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]杨国桢,吕惠宾,陈正豪,崔大复,王会生,杨海清,缪风英,周岳亮,李林.激光分子束外延和关键技术研究[J]中国科学(A辑).1998,(03)
[2]杨海清,李明.无油超高真空多层镀膜设备的研制[J]真空.1981,(04)
更多