高文玉
【姓名】 高文玉
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束混合,硅体,Xe~(2+)离子束,金属/硅体系,诱导界面反应,薄膜相变,相变,不同温度,离子注入,宽温区,生长层,硅原子,级联碰撞,离子诱导,基板温度,核物理,双层膜,成相,热退火,辐射增强扩散...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]毛思宁,杨熙宏,陈坚,刘家瑞,高文玉,杨锋.几种无限供应的金属/硅体系离子束混合相变[J]材料科学进展.1989,(02)
[2]毛思宁,杨熙宏,陈坚,刘家瑞,高文玉,朱沛然.300keV Xe~(2+)离子束诱导的金属/硅界面反应[J]原子能科学技术.1990,(05)
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