陈广超
【姓名】 陈广超
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子密度,电子回旋共振,氮化镓,氮化镓薄膜,等离子体密度,英文,高质量,双晶衍射,物理研究所,电子回旋共振等离子体,回摆曲线,朗缪尔,X射线,晶膜,材料科学,探针测量,北京理工大学,Transpare...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]杜小龙,陈广超,姚鑫兹,朱鹤荪.在高ECR 等离子体密度下沉积高质量氮化镓薄膜(英文)[J]Journal of Beijing Institute of Technology(English Edition).1999,(04)
[2]陈广超,杜小龙,姚鑫兹,江德仪.在ECR等离子体中GaN薄膜沉积的研究(英文)[J]功能材料与器件学报.1999,(02)
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