陈大鹏
【姓名】 陈大鹏
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】 微细加工技术、MEMS技术、X射线光刻及电子束投影光刻等下一代光刻技术研究
【发表文献关键词】 纳米硅镶嵌结构,LPCVD,SiN_x薄膜,沉积温度,可见荧光,SiNx膜,光致发光,低压化学气相沉积,波带片,纳米压印,热压印,氮化硅薄膜,电子束光刻技术,微结构,压印光刻,反应气体,MEMS,牺牲...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到139篇
[1]吴健雄;程腾;张青川;张勇;毛亮;高杰;陈大鹏;伍小平;.Research of Infrared Imaging at Atmospheric Pressure Using a Substrate-Free Focal Plane Array[J]Chinese Physics Letters.2013,(01)
[2]许高博;徐秋霞;殷华湘;周华杰;杨涛;牛洁斌;贺晓彬;孟令款;余嘉晗;李俊峰;闫江;赵超;陈大鹏;.Characterization of HfSiAlON/MoAlN PMOSFETs Fabricated by Using a Novel Gate-Last Process[J]Chinese Physics Letters.2013,(08)
[3]马治杰;台宪青;刘晶花;陈大鹏;.一种基于逆变异系数的云服务价值评价方法[J]计算机应用与软件.2022,(12)
[4]瞿帆;傅剑宇;侯影;卢一泓;李振锋;陈大鹏;.二极管型非制冷红外焦平面中二极管结构优化研究[J]红外技术.2023,(03)
[5]孙朋;傅剑宇;许高博;丁明正;翟琼华;殷华湘;陈大鹏;.面向先进光源的硅像素传感器保护环结构仿真研究[J]光子学报.2021,(12)
[6]陈贵东;周娜;毛海央;陈大鹏;.有机聚合物MEMS湿度传感器研究进展[J]微纳电子与智能制造.2021,(04)
[7]周琼;傅剑宇;刘超;侯影;陈大鹏;.一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计[J]微纳电子技术.2021,(01)
[8]杨帅;毛海央;鲍爱达;郭鑫;李锐锐;杨宇东;石梦;陈大鹏;.基于等离激元多重杂化效应的光吸收结构[J]物理学报.2021,(04)
[9]章军辉;李庆;陈大鹏;赵野;.基于快速SR-UKF的锂离子动力电池SOC联合估计[J]工程科学学报.2021,(07)
[10]李锐锐;杨帅;毛海央;陈大鹏;熊继军;.基于PMMA纳米纤维森林结构的高性能SERS基底[J]太原理工大学学报.2021,(04)
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中国重要会议全文数据库    共找到15篇
[1]常琳;陈大鹏;李庆;.基于PNN的网联汽车前方碰撞预警系统研究[A].2016中国汽车工程学会年会论文集.2016-10-26
[2]董凤良;焦斌斌;张青川;陈大鹏;缪正宇;熊志铭;伍小平;.60μm单元尺寸FPA的光学读出红外成像[A].庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）.2007-08-20
[3]程腾;张青川;高杰;史海涛;钱剑;陈焕斌;陈大鹏;焦彬彬;.光学读出热型红外成像的新进展[A].第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集.2009-07-25
[4]高杰;张青川;史海涛;陈大鹏;焦斌斌;钱剑;程腾;伍小平;.光读出红外成像中微梁反光板变形的影响[A].第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集.2009-07-25
[5]李庆;陈大鹏;梁艳菊;常琳;.一种自适应IRFPA非均匀性校正算法[A].第九届全国光电技术学术交流会论文集（上册）.2010-05-29
[6]明安杰;陈大鹏;欧文;王玮冰;何伟;刘占峰;.CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作[A].第九届全国光电技术学术交流会论文集（上册）.2010-05-29
[7]王巍;陈大鹏;刘明;叶甜春;李兵;.高密度等离子体刻蚀系统中诊断模型的初步分析[A].2004全国测控、计量与仪器仪表学术年会论文集（下册）.2004-09-01
[8]张青川;李凯;刘红;陈大鹏;伍小平;.基于微梁传感技术的大分子折叠研究[A].中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（上）.2005-08-01
[9]张青川;郭哲颖;陈大鹏;董凤良;熊志铭;李超波;伍小平;.光学读出微梁阵列红外成像技术[A].中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（上）.2005-08-01
[10]张青川;陈大鹏;伍小平;.光学读出微梁阵列非制冷红外成像[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
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承担国家科研项目    共找到1个
[1]陈大鹏;.悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究[A].中国科学院微电子研究所;.项目经费 27万元.2005-03-31.资助文献数 11 篇
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