张熙
【姓名】 张熙
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 静电封接,温度特性,微齿轮,集成电路平面工艺,机理研究,测试系统,等离子腐蚀,传感器,微机械加工技术,t曲线,冶金研究,自动测试系统,降温速率,开关,静电力,抛光硅片,峰值电流,玻璃系统,反应离子腐蚀...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/3 2 0 0 10 227
中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]罗鸣,赵新安,张熙,谭淞生,王渭源.静电封接过程与机理研究[J]半导体学报.1992,(08)
[2]王善鹤,赵新安,张熙,谭淞生.传感器温度特性自动测试系统[J]仪表技术与传感器.1993,(01)
[3]赵新安,苏毅,张熙,谭淞生,王渭源.微齿轮加工工艺研究[J]应用科学学报.1993,(04)
更多