熊幸果
【姓名】 熊幸果
【职称】
【研究领域】 自动化技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微机械,薄膜应力,微位移,电容加速度传感器,天平,反应离子刻蚀,静电键合,杨氏模量,Fe-Ni合金电镀沉积膜,硅传感器,悬臂梁,叉指,沉积膜,振动梁,Young’s模量,掩膜,杨氏,差分电容,秤盘,挠...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]唐圣明,陈思琴,熊幸果.硅传感器反应离子刻蚀的观察[J]电子显微学报.2000,(04)
[2]陈垚,张轩雄,熊幸果,王渭源.用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能[J]金属学报.2000,(05)
[3]熊幸果,陆德仁,卢平芳,熊斌,王渭源.微力微位移天平测试方法[J]传感技术学报.1997,(02)
[4]熊幸果,邹强,陆德仁,王渭源.硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]唐圣明;陈思琴;熊幸果;.硅传感器反应离子刻蚀的观察[A].第十一次全国电子显微学会议论文集.2000-06-30
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