苏毅
【姓名】 苏毅
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微齿轮,集成电路平面工艺,等离子腐蚀,亚毫米,微机械加工技术,多晶硅,反应离子腐蚀,齿轮,反应离子,向异性,过腐蚀,静电电动机,腐蚀工艺,加工工艺,微电动机,模宽,等离子体,双齿轮,LPCVD,中科院...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]苏毅,赵新安,谭淞生,王渭源.亚毫米多晶硅微齿轮的初步研制[J]传感技术学报.1992,(03)
[2]赵新安,苏毅,张熙,谭淞生,王渭源.微齿轮加工工艺研究[J]应用科学学报.1993,(04)
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