宋志庆
【姓名】 宋志庆
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 铂膜电阻,硅烷,外延,薄层,气体流量,热式气体质量流量计,不锈钢,外延硅,热敏电阻,四氯化硅,兰宝石,膨胀系数,热处理,热分解法,微机化,氢气净化,氢还原法,掺杂源,反应管,流量传感器,异质外延,反应...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】
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[1]陈庆贵,宋志庆,史日华,蔡希介.用于硅烷掺杂薄层外延的不锈钢装置及其应用[J]半导体技术.1984,(05)
[2]陈庆贵;宋志庆;史日华;蔡希介;.硅烷掺杂的薄层外延不锈钢外延设备[J]仪器制造.1984,(03)
[3]苏千武;蔡希介;苏祖兴;宋志庆;.高阻材料霍尔效应测试法探讨[J]仪器制造.1985,(01)
[4]吴勤勤,秦愉,郁月富,宋志庆.微机化热式气体质量流量计的研制[J]仪器仪表学报.1990,(03)
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