刘平
【姓名】 刘平
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Ti/Si,分凝效应,固相反应,原子,CoSi,背散射,分凝,样品表,Si表面,三元硅化物,Ti膜,冶金研究,再分布,开放研究实验室,离子束,Si衬底,多步热处理,俄歇,道数,多层薄膜结构,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]刘平,周祖尧,林成鲁,邹世昌,李炳宗,孙臻.As在Co/Ti/Si三元固相反应中的分凝效应[J]物理学报.1993,(11)
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