董业明
【姓名】 董业明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 局域注氧技术,DSOI,SOI,自热效应,热阻,英文,子学,SOI器件,微电,浮体效应,IEEE,离子束,清华大学,冶金研究,SIMOX,研究所,中国科学院,MEDICI,NMOS,VanB,
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]何平,江波,林曦,刘理天,田立林,李志坚,董业明,陈猛,王曦.一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)[J]半导体学报.2003,(06)
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