陈莉芝
【姓名】 陈莉芝
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 闪耀光栅,反应离子束,离子束刻蚀,刻蚀速率,激光再结晶,BF_2~+注入,快速退火,光刻胶,微细加工,氟碳聚合物,光栅,氧化硅,快速热退火,选择比,氧分压,热退火,离子能量,掩膜,压力传感器,束流密度...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]王向晖,张峰,李昌荣,郑志宏,陈莉芝,王惠民,柳襄怀.氧分压对动态离子束辅助沉积合成的氧化钛膜的影响[J]功能材料与器件学报.2001,(01)
[2]傅新定;陈国明;任琮欣;陈昌明;陈莉芝;方红丽;杨洁;.磁泡存贮器平面技术[J]磁性材料及器件.1982,(04)
[3]傅新定,郑延芳,陈莉芝,任琮欣,蔡雪强,曲志敏,徐英明,李美月.反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究[J]光学学报.1985,(01)
[4]傅新定,陈国明,任琮欣,郑廷芳,陈莉芝,方红丽,杨洁.反应离子束刻蚀二氧化硅和硅研究[J]半导体学报.1985,(04)
[5]林成鲁,林梓鑫,陈莉芝,邹世昌.BF_2~+注入Si的快速退火[J]电子学报.1987,(06)
[6]邢昆山,许学敏,林成鲁,陈莉芝,谭松生,邹世昌.激光再结晶SOM材料及压力传感器研究[J]电子学报.1989,(01)
[7]林成鲁,邢昆山,陈莉芝,许学敏,谭松生,邹世昌.金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究[J]中国激光.1990,(07)
[8]徐兴龙;许东;林梓鑫;杜根娣;周祖尧;杨石奇;陈莉芝;夏冠群;邹世昌;.离子束改性聚酰亚胺微细结构的Raman光谱研究[J]自然科学进展.1992,(01)
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