张颖
【姓名】 张颖
【职称】
【研究领域】 航空航天科学与工程;无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 滑膜阻尼,微机械陀螺,陀螺,微机械加工,双端固支硅纳米梁,压阻检测,Ar离子轰击,谐振特性,随机参数,固有频率,摄动法,影响因子,输出电容,噪声特性,离差系数,噪声,影响系数,离子注入,原子结构,微陀...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]刘文俊;王敏昌;秦嵩;颜培力;宓斌伟;张颖;张铁军;焦继伟;.硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计和制作[J]磁性材料及器件.2014,(02)
[2]李金鹏;焦继伟;宓彬伟;张颖;王跃林;.用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计[J]半导体技术.2009,(12)
[3]冷悦;焦继伟;张颖;顾佳烨;颜培力;宓斌玮;.微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应[J]传感技术学报.2010,(08)
[4]张圣;焦继伟;葛道晗;顾佳晔;严培力;张颖;.电化学腐蚀中多孔硅边缘效应的研究[J]传感器与微系统.2010,(10)
[5]姜涛;王安麟;张颖;焦继伟;.基于弹性体模型的微机械陀螺检测电容解析方法[J]宇航学报.2006,(03)
[6]赵全斌;焦继伟;杨恒;林梓鑫;李铁;张颖;王跃林;.基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究[J]传感技术学报.2006,(05)
[7]姜涛;王安麟;刘广军;张颖;焦继伟;.基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析[J]上海交通大学学报.2006,(11)
[8]姜涛;王安麟;张颖;焦继伟;.音叉振动式微机械陀螺固有频率的统计特性分析[J]航空学报.2007,(01)
[9]王育才;焦继伟;段飞;张颖;宓斌玮;李金鹏;钱清;王跃林;.一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计[J]半导体学报.2007,(05)
[10]姜涛;王安麟;刘广军;张颖;焦继伟;.音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析[J]机械工程学报.2007,(08)
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