张鲲
【姓名】 张鲲
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 压膜阻尼,冲击,曲面过载保护,硅微机械加速度传感器,深反应离子刻蚀,陀螺,压阻,高量程,MEMS,加速度计,悬臂梁,过载保护,微梁,灌封,加速度传感器,灌封胶,体硅,四端器件,硅微机械陀螺,微机械,硅...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]郑丹;张熙贵;张鲲;姜伟;夏保佳;.环境对自呼吸式MEMS微型H_2/空气质子交换膜燃料电池的影响[J]功能材料与器件学报.2009,(05)
[2]鲍海飞;宋朝辉;李昕欣;刘民;张鲲;陆德仁;.利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究[J]机械强度.2009,(06)
[3]鲍海飞;李昕欣;宋朝辉;张鲲;刘民;陆德仁;.高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析[J]仪表技术与传感器.2009,(S1)
[4]郑丹;张熙贵;张鲲;杨辉;李昕欣;夏保佳;.基于阴极新结构的高性能自呼吸式MEMS微型氢/空气燃料电池[J]应用化学.2007,(06)
[5]郑丹;倪卫其;姜伟;张熙贵;张鲲;夏保佳;.自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化[J]半导体技术.2007,(09)
[6]董培涛;李昕欣;张鲲;吴学忠;李圣怡;封松林;.单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试[J]半导体学报.2007,(09)
[7]董健,李昕欣,王跃林,张鲲,宋朝晖.曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计[J]机械强度.2003,(02)
[8]蒋玉齐,程迎军,张鲲,李昕欣,罗乐.高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应[J]功能材料与器件学报.2004,(04)
[9]陈雪萌,宋朝晖,李欣昕,王跃林,张鲲,焦继伟,杨恒.一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造[J]传感器技术.2004,(12)
[10]蒋玉齐,程迎军,张鲲,李昕欣,罗乐.灌封胶封装对高量程MEMS加速度计动态性能的影响[J]半导体学报.2005,(06)
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