宋朝晖
【姓名】 宋朝晖
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 压膜阻尼,冲击,曲面过载保护,硅微机械加速度传感器,深反应离子刻蚀,压阻,陀螺,体硅,加速度传感器,绝缘工艺,微机械,侧壁,悬臂梁,过载保护,微梁,四端器件,体硅工艺,硅微机械陀螺,微机电系统,硅微机...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]贾孟军;李昕欣;宋朝晖;王跃林;.开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关[J]半导体学报.2007,(08)
[2]董健,李昕欣,王跃林,张鲲,宋朝晖.曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计[J]机械强度.2003,(02)
[3]陈雪萌,宋朝晖,李欣昕,王跃林,张鲲,焦继伟,杨恒.一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造[J]传感器技术.2004,(12)
[4]程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,张鲲,戈肖鸿,宋朝晖.新型侧壁绝缘体硅微机械工艺[J]仪表技术与传感器.2005,(01)
[5]陈雪萌,李昕欣,宋朝晖,王跃林,黄晖,黄树森,张鲲.一种新结构硅微机械压阻加速度计[J]传感技术学报.2005,(03)
[6]程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖.带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]半导体学报.2005,(03)
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