刘北平
【姓名】 刘北平
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 干法刻蚀,感应耦合等离子体,GaN,刻蚀速率,Cl_2/He,Cl_2/Ar,等离子体刻蚀,表面形貌,比接触电阻,表面粗糙度,自偏压,均方根粗糙度,气体组分,刻蚀气体,总流量,刻蚀端面,电极,直流,功...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 北京中国
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[1]刘北平;李晓良;朱海波;.Cl_2基气体感应耦合等离子体刻蚀GaN的工艺[J]半导体学报.2006,(07)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]刘北平.GaN的刻蚀、P型欧姆接触以及LED的研究[D].中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）.2006
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