封松林
【姓名】 封松林
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;计算机硬件技术;物理学;
【研究方向】 低维半导体物理、器件与材料
【发表文献关键词】 超大规模集成电路,化学机械抛光,铜表面,抛光液,多层互连,微机械,质子交换膜,燃料电池,自呼吸阴极优化,相变存储器,研究现状,发展前景,优化设计,铜布线,相变材料,Ge纳米晶,高k介质,C-V曲线,平...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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中国期刊全文数据库    共找到56篇
[1]夏梦姣;饶峰;宋志棠;任堃;吴良才;刘波;封松林;.An Improvement of the Thermal Stability of SnTe through Nitrogen Doping[J]Chinese Physics Letters.2013,(03)
[2]金秋雪;刘波;刘燕;王维维;汪恒;许震;高丹;王青;夏洋洋;宋志棠;封松林;.Three-Dimensional Simulations of RESET Operation in Phase-Change Random Access Memory with Blade-Type Like Phase Change Layer by Finite Element Modeling[J]Chinese Physics Letters.2016,(09)
[3]吴良才;宋志棠;周夕淋;饶峰;封松林;.相变存储器材料研究[J]中国科学:物理学 力学 天文学.2016,(10)
[4]高丹;刘波;李莹;宋志棠;任万春;李俊焘;许震;吕士龙;朱南飞;任佳栋;詹奕鹏;吴汉明;封松林;.The effect of oxygen plasma ashing on the resistance of TiN bottom electrode for phase change memory[J]Journal of Semiconductors.2015,(05)
[5]李俊焘;刘波;宋志棠;冯高明;朱南飞;任佳栋;封松林;.相变材料等离子体刻蚀的研究进展[J]微纳电子技术.2014,(05)
[6]封松林;王曦;王跃林;曹俊诚;李昕欣;龚谦;李铁;.微纳系统材料、制造与器件物理研究进展[J]中国科学基金.2014,(02)
[7]何敖东;刘波;宋志棠;王良咏;刘卫丽;冯高明;封松林;.Chemical mechanical planarization of Ge_2Sb_2Te_5 using IC1010 and Politex reg pads in acidic slurry[J]Chinese Physics B.2014,(08)
[8]史尚尚;王海龙;孙丽芹;龚谦;封松林;.基于QD-SOA的波长转换特性的消光比研究[J]通信技术.2013,(09)
[9]任万春;刘波;宋志棠;向阳辉;王宗涛;张北超;封松林;.Nano-scale gap filling and mechanism of deposit-etch-deposit process for phase-change material[J]Chinese Physics B.2012,(11)
[10]何敖东;宋志棠;刘波;钟旻;王良咏;吕业刚;封松林;.Mechanism of amorphous Ge_2Sb_2Te_5 removal during chemical mechanical planarization in acidic H_2O_2 slurry[J]Chinese Physics B.2013,(01)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]封松林;.科学优先还是技术优先:一个政治决策[A].新观点新学说学术沙龙文集14:科技创新——科学优先还是技术优先.2007-11-03
[2]孙明达;韩晓东;张晓娜;张泽;刘波;宋志棠;封松林;.原位电子束诱导碲化锑(Sb_2Te_3)及硅掺杂的晶化[A].2006年全国电子显微学会议论文集.2006-08-01
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承担国家科研项目    共找到1个
[1]封松林;.基于纳米结构的相变机理及嵌入式PCRAM应用基础研究[A].中国科学院上海微系统与信息技术研究所;.项目经费 3276.33万元.2007-03-30.资助文献数 5
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