包菡涵
【姓名】 包菡涵
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 悬臂梁,压阻敏感,电磁激励,AGC式闭环电路,谐振模态,质量检测分辨率,品质因数,谐振频率,质量分辨率,洛伦兹力,谐振传感器,优化驱动,微机械,二阶,驱动方式,谐振式,自激振荡,模态传感器,频率稳定性...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]刘剑;李昕欣;金大重;刘民;王跃林;左国民;余海涛;包菡涵;.高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器[J]半导体学报.2006,(08)
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