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蔡小五
【姓名】
蔡小五
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;核科学技术;
【研究方向】
MEMS相关技术
【发表文献关键词】
热电堆,探测器,非制冷,红外,热电材料,红外热电堆,微机械,红外探测器,微电子机械系统,工艺制作,焦点,红外辐射,冷端,封闭膜,多晶硅,光子探测器,热探测器,塞贝克系数,气室,电压效应,
【工作单位】
中国科学院上海技术物理研究所
【曾工作单位】
中国科学院上海技术物理研究所;
【所在地域】
上海
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共找到1篇
[1]蔡小五,马斌,梁平治.
微机械非制冷红外热电堆探测器
[J]红外技术.2005,(01)
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