杨良民
【姓名】 杨良民
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 线宽测量,斜照明,光学计,微夹钳,玻璃吸附针尖,接近式光刻,组装技术,微机械手,电视线,分辨率改善,量仪,设计与检测,准分子激光光刻,微机械,CDMS,测量仪,微机械系统,线条,缝宽,模拟与分析,占空...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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[1]赵永凯,黄惠杰,路敦武,杜龙龙,杨良民,袁才来,蒋宝财,王润文.接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析[J]微细加工技术.2001,(02)
[2]沈蓓军，丁生华，邹海兴，路敦武，杨良民.CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测[J]光学精密工程.1994,(01)
[3]路敦武,黄惠杰,沈蓓军,杨良民.几种微机械系统组装技术[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
[4]孙保定;杨良民;.用于高功率YAG激光手术器的光纤光缆耦合器的设计[J]中国激光.1985,(04)
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