苏良壁
【姓名】 苏良壁
【职称】
【研究领域】 物理学;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 氟化钙晶体,综述,紫外光刻,氟化钙,晶体生长,CaF_2,光刻系统,晶体,真空紫外波段,大尺寸,193nm,紫外波段,氟化钙单晶,波段,精密机械,157nm,坩埚,透过率,双折射,窗口材料,
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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