李晓谦
【姓名】 李晓谦
【职称】 研究员;
【研究领域】 金属学及金属工艺;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束蒸发,金属离子源,等离子辅助沉积,光学膜,离子辅助沉积,永昌,等离子体离子辅助镀膜,无栅等离子体源,表面改性,光学镀膜,等离子辅助,强流,薄膜制备,离子源,成膜技术,引出电压,气固,离子束流,离...
【工作单位】 中国科学院空间科学与应用研究中心
【曾工作单位】 中国科学院空间科学与应用研究中心;
【所在地域】 北京
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[1]尤大伟,李晓谦,王宇,林永昌.The Gridless Plasma Ion Source (GIS)for Plasma Ion Assisted Optical Coating[J]Plasma Science & Technology.2004,(04)
[2]林永昌,尤大纬,李晓谦,沈立新,郑陪雨.等离子辅助成膜技术[J]仪器仪表学报.2000,(05)
[3]尤大伟,李晓谦,王怡德,林永昌.走向工业应用的离子辅助光学镀膜技术[J]微细加工技术.2000,(03)
[4]林永昌,尤大纬,李晓谦,沈立新,郑陪雨.等离子辅助成膜技术[J]光学仪器.1999,(Z1)
[5]冯毓材,李晓谦.薄膜制备用电子束蒸发强流气固两用离子源[J]真空科学与技术.1996,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]郑保民;况园珠;王宇;李晓谦;张海文;顾汉卿;赵景丽;.多功能离子束医用材料表面改性装置[A].2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集.2000-06-30
[2]任荆学;李晓谦;杨松涛;.无栅离子源控制方式的讨论[A].TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2007-08-01
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