黄小刚
【姓名】 黄小刚
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 线状离子源,多极场设计,等离子体加速,离子束辅助镀膜,光学镀膜,离子源,镀膜,等离子体加速器,辅助沉积,感应耦合等离子体,放电室,离子束辅助,子体,霍尔,射频,线状,霍尔加速器,宽束,离子束,放电电流...
【工作单位】 中国科学院空间科学与应用研究中心
【曾工作单位】 中国科学院空间科学与应用研究中心;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]尤大伟,任荆学,黄小刚,武建军.关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题[J]真空科学与技术学报.2004,(04)
[2]尤大伟,黄小刚,任荆学,李安杰.用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计[J]真空科学与技术学报.2004,(06)
[3]尤大伟,黄小刚,武建军.用于辅助镀膜的霍尔等离子体源[J]光学仪器.2001,(Z1)
[4]尤大伟,李安杰,江建国,武建军,黄小刚.走向光学工业应用的辅助镀膜霍尔等离子体源[J]核技术.2002,(09)
[5]尤大纬,李安杰,黄小刚.辅助沉积线状(3×20cm)离子源设计[J]微细加工技术.1993,(03)
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中国重要会议全文数据库    共找到3篇
[1]尤大伟;黄小刚;武建军;.用于辅助镀膜的霍尔等离子体源[A].'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集.2001-11-01
[2]尤大伟;黄小刚;任荆学;武建军;.关于霍尔离子源的几个问题[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01
[3]尤大伟;黄小刚;任荆学;李安杰;.用于薄膜制备的宽束射频离子源[A].2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集.2004-08-01
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