李秀如
【姓名】 李秀如
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 MOCVD,半导体设备,机全,动控制,有机源,反应室,数字显示,GaAs,外延片,拟图,手动,控温精度,中国科学院,模拟板,西安,系统管,MOCVD技术,薄层结构,控制管路,护器,
【工作单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所;
【所在地域】
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[1]高鸿楷,张济康,叶亚仙,李秀如,云峰,刘瑛,张增颜,侯洵.实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制[J]高速摄影与光子学.1990,(04)
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