张谷令
【姓名】 张谷令
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 脉冲高能量密度等离子体,内表面处理,离子注入,等离子体源,管型,内表面改性,ECR微波等离子体,TiN膜,鞘层,TiN薄膜,等离子体鞘层模拟,内表面等离子体源离子注入,碳氢,离子鞘层,类金刚石薄膜,粒...
【工作单位】 中国科学院物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院物理研究所;
【所在地域】 北京
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[1]张谷令;王久丽;贾莹;邹斌;杨思洋;.Double Temperature and Density Phenomenon in Grid Enhanced Plasma Source Ion Implantation for Inner Surface Modification of Tubes[J]Plasma Science and Technology.2009,(05)
[2]杨武保;范松华;戈敏;张谷令;沈曾民;杨思泽;.高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析[J]物理学报.2006,(01)
[3]顾伟超;吕国华;陈睨;陈光良;冯文然;张谷令;杨思泽;.管状铝质材料的等离子体电解沉积行为研究[J]物理学报.2007,(04)
[4]杨武保,范松华,刘赤子,张谷令,王久丽,杨思泽.脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析[J]物理学报.2003,(01)
[5]张谷令,王久丽,杨武保,范松华,刘赤子,杨思泽.内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究[J]物理学报.2003,(09)
[6]杨思泽,张谷令,王久丽,刘斌,范松华,杨武保,刘元富.管型材料离子注入内表面改性研究进展[J]科学技术与工程.2003,(06)
[7]刘元富,张谷令,王久丽,刘赤子,杨思泽.脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究[J]物理学报.2004,(02)
[8]王久丽,张谷令,王友年,刘元富,刘赤子,杨思泽.等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法[J]科学通报.2004,(05)
[9]杨武保,王久丽,张谷令,范松华,刘赤子,杨思泽.丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究[J]物理学报.2004,(09)
[10]顾伟超,沈德久,王玉林,陈光良,冯文然,张谷令,刘赤子,杨思泽.电解等离子体法制备Al_2O_3陶瓷层及其特性研究[J]物理学报.2005,(07)
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